晶圆、精密检测设备搬运​

案例展示 2026年3月21日

客户单位:无锡某半导体晶圆制造加工厂​
搬运标的物:高纯半导体晶圆、光刻检测仪器、晶圆传输设备、精密校准工装​
客户核心诉求:无尘零损伤、高精度防震,杜绝粉尘污染与精度偏差,快速完成车间搬迁,保障晶圆生产良率,尽早实现达产达标​。

搬迁前​
我司资深技术工程师上门勘察千级洁净车间环境,检测粉尘浓度、地面平整度,核验设备防震等级与搬运承重;针对晶圆超薄易损、仪器高精度的特性,制定洁净型搬运机器人+真空防震底座+密封转运箱组合方案,明确无尘作业标准,提前筹备无尘膜、防震棉等专用防护耗材。​

搬运中​
采用专用洁净搬运设备,晶圆装入密封防静电收纳盒,仪器做好全包裹防尘处理;搬运设备缓起缓停、精准定位,严控震动幅度,现场全程做好粉尘管控,严守洁净车间作业规范,专人全程监护设备运行状态。​

搬运后​
晶圆、设备零损伤、零精度偏差,车间洁净度达标且顺利通过设备调试验收,比预定工期提前1天完成搬迁,生产线快速投产,晶圆破损率控制在0.001%以内,完全满足客户高精度、无尘搬运需求。